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名称 機関 メーカー 共用範囲
XVision200TB
CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム (Preprocessing system for device evaluation that integrates 3D functions linked with CAD data)
東京大学
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
JEOL SM-090010JEOL SM-090020
クロスセクションポリッシャー(CP) (Cross Section Polisher)
東京大学
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
EM09100IS
イオンスライサー (Ion slicer)
東京大学
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
EM UC7
ウルトラミクロトーム (Ultramicrotome)
東京大学
ライカバイオシステムズ? (Leica Microsystems K.K.)
学内学外とも共用
IB15930CP
クロスセクションポリッシャー (Cross Section Polisher)
東京大学
日本電子 (JEOL)
学内学外とも共用
CADE-4T
カーボンコーター (Carbon coater )
東京大学
明和フォーシス (Meiwafosis )
学内学外とも共用
PECS
電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis)
東京大学
Gatan
学内学外とも共用
M-2000U
分光エリプソメータ (M-2000DI-T)
東京大学
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam)
学内学外とも共用
PHI680
オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy)
東京大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
PHI 5000 VersaProbe
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) (rX-ray Photoelectron Spectroscopy)
東京大学
アルバックファイ? (ULVAC-PHI, Inc. )
学内学外とも共用
PHI 5000 VersaProbe III with AES
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES (X-ray Photoelectron Spectroscopy with AES)
東京大学
アルバックファイ (ULVAC-PHI)
学内学外とも共用
NanoSIMS 50L
超微量元素計測システム (SIMS)
東京大学
カメカ (Cameca)
学内学外とも共用
VariMax Dual
無機微小結晶構造解析装置 (X-ray Single Crystal Diffractometer)
東京大学
リガク (Rigaku Co.)
学内学外とも共用
SmartLab(9kW)
高輝度In-plane型X線回折装置 (XRD)
東京大学
リガク (Rigaku Co.)
学内学外とも共用
SmartLab (3kW)
粉末X線回折装置 (XRD)
東京大学
リガク (Rigaku Co.)
学内学外とも共用
SmartLab (Kα1)
粉末X線回折装置 (XRD)
東京大学
リガク (Rigaku)
学内学外とも共用
JES-FA300
電子スピン共鳴装置 (Electron spin resonator)
東京大学
日本電子株式会社 (JEOL)
学内学外とも共用
PPMS-14LHattt
極限環境下電磁物性計測装置 (Physical Property Measurement System (PPMS))
東京大学
日本カンタム・デザイン (Quantum Design Japan)
学内学外とも共用
TXRF 3760
全反射蛍光X線分析装置TXRF-3760
東京大学
リガク
学内学外とも共用
VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
東京大学
キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus)
学内学外とも共用
MSA-500
機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)
東京大学
ポリテック (Polyltec)
学内学外とも共用
SB8 Gen2
ウエーハレベルボンディング装置SB8 Gen2
東京大学
ズースマイクロテック
学内学外とも共用
PM-6
精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher)
東京大学
ロジテック
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL !-Miller (2024)
LL式高密度汎用スパッタリング装置(2024)
東京大学
芝浦メカトロニクス
学内学外とも共用
BB7873
2インチ3元電子線蒸着装置
東京大学
アルバック
学内学外とも共用
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〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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