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名称 機関 メーカー 共用範囲
DWL66+
レーザー描画装置〔DWL66+〕 (Laser Beam Lithography)
産業技術総合研究所
ハイデルベルグ (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
4156C
デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer)
産業技術総合研究所
アジレントテクノロジー (Agilent)
学内学外とも共用
Model 82-WIN, 4284A LCRメータ
デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer)
産業技術総合研究所
ケースレー アジレント (Keithley Agilent)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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