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名称 機関 メーカー 共用範囲
MX-200/B,B1500A
室温プローバー [MX-200/B]
物質・材料研究機構
ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
学内学外とも共用
SB-LN2PS,4200-SCS
液体窒素プローバー [SB-LN2]
物質・材料研究機構
サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ (Thermal Block,Kiethley Instruments)
学内学外とも共用
7476D
ワイヤーボンダー [7476D #2]
物質・材料研究機構
ハイソル(West Bond) (HiSOL (West Bond))
学内学外とも共用
ELS-BODEN100
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
物質・材料研究機構
エリオニクス
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置 [DL-1000]
物質・材料研究機構
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
MA-6
マスクアライナー [MA-6]
物質・材料研究機構
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
物質・材料研究機構
サムコ
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
物質・材料研究機構
芝浦メカトロニクス
学内学外とも共用
MB-501010
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
物質・材料研究機構
エイコー・エンジニアリング
学内学外とも共用
SUNALE R-150
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]
物質・材料研究機構
PICOSUN JAPAN
学内学外とも共用
CE300I
ICP-RIE装置 [CE300I]
物質・材料研究機構
アルバック
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
物質・材料研究機構
アドバンス理工
学内学外とも共用
DAD3220
ダイシングソー [DAD3220]
物質・材料研究機構
ディスコ
学内学外とも共用
HMP-400
室温プローバー [HMP-400]
物質・材料研究機構
ハイソル
学内学外とも共用
GRAIL-408-32-B
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
物質・材料研究機構
ナガセテクノエンジニアリング
学内学外とも共用
7476D
ワイヤーボンダー [7476D #1]
物質・材料研究機構
ウェスト・ボンド
学内学外とも共用
MLA 150
マスクレス露光装置 [MLA150]
物質・材料研究機構
ハイデルベルグ・インスツルメンツ
学内学外とも共用
-
電子線トモグラフィー解析システム (Electron tomography analysis system)
物質・材料研究機構
-
学内学外とも共用
VK-9700
短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)
産業技術総合研究所
キーエンス (KEYENCE)
学内学外とも共用
OLS-4100
短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] (Laser Microscope〔OLS-4100〕)
産業技術総合研究所
オリンパス (Olympus)
学内学外とも共用
S4800
電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕)
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
S-3500N
低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI))
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
ERA-9200
3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス) (3 Dimensional Field Emission SEM)
産業技術総合研究所
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
NanoscopeⅣ/Dimension3100
走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100))
産業技術総合研究所
デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments )
学内学外とも共用
SPM-9700
走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] (Scanning Probe Microscope 2〔SPM2, SPM-9600/9700〕)
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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