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名称 機関 メーカー 共用範囲
JSM-7100F
EBSD解析装置?(EBSD analyzer)
広島大学
日本電子?(JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
JSM-IT800
走査電子顕微鏡
広島大学
日本電子
学内学外とも共用
SPI3800
原子間力顕微鏡?(AFM)
広島大学
セイコーインスツルメンツ?(Seiko Instruments Inc.)
学内学外とも共用
M2000-D
分光エリプソメーター?(Spectroscopic ellipsometer)
広島大学
J.A. Woollam Japan?(J.A. Woollam Japan)
学内学外とも共用
ESCA-3400
X線光電子分光装置(XPS)?(X-ray photoelectron spectroscopy)
広島大学
クレイトスアナリティカル?()
学内学外とも共用
SIMS6650
二次イオン質量分析装置?(SIMS)
広島大学
アルバックファイ?(ULVAC-PHI, Inc.)
学内学外とも共用
ATX-E
薄膜構造評価X線回析装置(XRD)?(X-ray diffraction spectrometer)
広島大学
リガク?()
学内学外とも共用
ZSX-400
蛍光X線分析装置(XRF)?(XRF)
広島大学
リガク?()
学内学外とも共用
AFT 5000
干渉式膜厚計?(Spectroscopic reflectometer)
広島大学
ナノメトリクスジャパン?(Nanometrics Inc)
学内学外とも共用
Dektak XT-E
表面段差計?(Profilometer)
広島大学
BRUKER?(BRUKER)
学内学外とも共用
IntelliSuite
MEMS設計ツール (IntelliSuite)
広島大学
インテリセンス
学内学外とも共用
EC-1200NP
プログラム・ホットプレート
広島大学
アズワン株式会社
学内学外とも共用
ELS-G100
超高精度電子ビーム描画装置?(Ultra high precision electron beam lithography system)
広島大学
エリオニクス?(Elionix)
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置?(Maskless photolithography system)
広島大学
株式会社ナノシステムソリューションズ?(NanoSystem Solutions, Inc.)
学内学外とも共用
MLA-150
マスクレス露光装置?(Maskless photolithography system)
広島大学
ハイデルベルグ・インストルメンツ?(Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
スピンコータ?(Spin Coater)
広島大学
タツモ(株)?(TAZMO)
学内学外とも共用
L-Edit
レイアウト設計ツール?(Mask layout design tool)
広島大学
Tanner?(Tanner)
学内学外とも共用
酸化炉?(Oxidation furnaces)
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
サムコ製 HT-1000
Rapid Thermal Anneal装置(RTA)?(Rapid Thermal Annealing furnaces)
広島大学
サムコ?(Samco Inc.)
学内学外とも共用
370MI- MINI
インプラ後アニール炉?(Diffusion furnaces for dopant activation)
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
370MI- MINI
ウェル拡散炉?(Well diffusion furnaces)
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉?(Post-metallization annealing furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
燐拡散炉?(Phosphorus diffusion furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
KTF453N-VP
汎用熱処理装置?(Annealing furnaces for general purpose)
広島大学
光洋サーモシステム?()
学内学外とも共用
(自作)
連続発振レーザアニール装置(レーザ結晶化装置)?(CW OSC Laser annealing (Laser crystallization))
広島大学
(自作)?()
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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