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名称 機関 メーカー 共用範囲
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電波暗室
名古屋工業大学
産学官金連携機構
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学内学外とも共用
5面電波暗室
中型電波暗室
名古屋工業大学
産学官金連携機構
リケン環境システム
学内学外とも共用
シールドルーム
シールドルーム
名古屋工業大学
産学官金連携機構
リケン環境システム
学内学外とも共用
SYS-N2817-01、-02
BCI/TWC/DPIイミュニティ試験システム
名古屋工業大学
産学官金連携機構
ノイズ研究所
学内学外とも共用
TS9949-NITX
エミッション試験システム
名古屋工業大学
産学官金連携機構
東陽テクニカ
学内学外とも共用
-
恒温恒湿室一式(人工気候室)付属測定装置一式を含む
名古屋工業大学
産学官金連携機構
㈱大西熱学
学内のみ
VHX-600、VH-5500など
デジタルマイクロスコープ群 (Optical microscope)
豊田工業大学
キーエンス (Keyence)
学内学外とも共用
Multimode顕微鏡
ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム (Scanning probe microscope for measuring nano-region material property)
豊田工業大学
ブルカー (Bruker)
学内学外とも共用
JSM6500F
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属) (Field emission-type scanning electron microscope)
豊田工業大学
日本電子 (JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
特注
偏光顕微鏡(青色レーザー照射可能) (Polarizing microscope)
豊田工業大学
ネオアーク (Neoark Corporation)
学内学外とも共用
inVia Reflex
ラマン分光装置 (Raman Spectrometer)
豊田工業大学
レニショー (Renishaw plc.)
学内学外とも共用
LSE
エリプソメーター (Ellipsometer)
豊田工業大学
ガ−トナ− (Gartner Sci. Corp.)
学内学外とも共用
特注
磁気光学効果測定装置 (Magneto-optic effect measurement equipment)
豊田工業大学
豊田マックス
学内学外とも共用
アルファーステップ IQZ
表面形状測定器(段差計) (Stylus profiler)
豊田工業大学
KLAテンコール (KLA-Tencor)
学内学外とも共用
NewView 7300
非接触3次元表面形状・粗さ測定機 (White-light interferometer)
豊田工業大学
ザイゴ (Zygo)
学内学外とも共用
VR-6200
三次元形状測定機 (3D shape measuring machine)
豊田工業大学
キーエンス
学内学外とも共用
RPD-PCS4/LC
反応性プラズマ蒸着(RPD)装置
豊田工業大学
住友重機械工業
学内学外とも共用
CFS-4ES
スパッタ(金属、絶縁体)蒸着装置 (Sputtering vapor depositing equipment)
豊田工業大学
芝浦エレテック (Shibaura eletec Corporatoin)
学内学外とも共用
BC2925(特注装置)
多機能薄膜作製装置 (Sputtering vapor depositing / Molecular vapor epitaxy equipment)
豊田工業大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
Fiji F200
原子層堆積装置 (Atomic layer deposition:ALD)
豊田工業大学
Ultratech/Cambridge Nano Tech (Ultratech/Cambridge Nano Tech)
学内学外とも共用
MX-1204
マスクレス露光装置 (Maskless exposure equipment)
豊田工業大学
大日本科研 (Japan Science Engineering Co., Ltd.)
学内学外とも共用
MA6
マスクアライナ装置 (Mask aligner)
豊田工業大学
ズース・マイクロテック (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
VPA-100改造
レジスト処理(アッシング)装置 (Asher)
豊田工業大学
VICインターナショナル (VIC international)
学内学外とも共用
特注
洗浄ドラフト一式 (Clean draft chambers)
豊田工業大学
東朋テクノロジー (Toho Technology Co.)
学内学外とも共用
縦型:MD-100P 横型:4001PSI
シリコン専用の各種熱処理(酸化、拡散)装置一式 (Thermal treatment furnaces (oxidation, diffusion))
豊田工業大学
縦型:ディー・エス・アイ テクノロジー 横型:光洋サーモシステム (縦型:DSITechnology Co.LTD 横型:Koyo Thermo Systems Co., Ltd.)
学内学外とも共用
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〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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