高分解能走査型分析電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-7800F Prime |
| 設備名称 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | □ 主な仕様 （1）本体 加速電圧：0.5〜30 kV 0.5〜2.9 kVは10 Vステップ 2.9〜30 kVは100 Vステップ 二次電子分解能：1.0 nm（加速電圧15kV, 通常時） 1.5 nm（加速電圧1kV, 通常時） 0.7 nm（加速電圧15kV, GB時） 1.2 nm（加速電圧1kV, GB時） 0.7 nm（加速電圧1kV, GBSH時） 倍率：×25 〜 1,000,000 プローブ電流：10-12 〜 2×10-7 A （2）エネルギー分散形X線分析装置（JEOL JED-2300F） 検出器：シリコンドリフト検出器 エネルギー分解能：129 eV 検出可能元素：Be 〜 U （3）カソードルミネッセンス測定装置（HORIBA MP-32S） 波長測定領域：185 nm 〜 900 nm（PMT） 200 nm 〜 1100 nm（CCD） ※ 光経路が空気中であるため、紫外領域の感度は低減される （4）半導体反射電子検出器（RBEI） （5）走査透過型電子検出器（STEM） |
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